DGS-XY系列 

 DGL XY平台采用标准DGL单轴叠加组合，可以缩短设计开发和生产周期。具有高速，高精度的特点，广泛应用在自动化和半导体等行业

TGS-XY 系列

TGS-XY下轴使用三根导轨达到更好的性能，支持更长长行程的上轴。使用定制的带气管紧凑排线，是半导体行业的理想选择

VRG-I 系列

VRG-I龙门系列采用高推力有铁芯电机，单电机和双电机的配置均可。反馈采用非接触式的光学编码器。VRG1可以应用在高速取放，自动化组装，点胶等高精度行业

VRG-II 系列 

VRG-II是多功能的龙门平台，电机推力与龙门负载重心一致。使用大推力密度无铁芯AUM电机，适用于重载多工位方案的设计。应用在高速取放，自动化组装，点胶等

VRG-III 系列

VRG-III是多功能的龙门平台，电机推力与龙门负载重心一致。使用大推力密度有铁芯AJM、AKM电机，适用于重载多工位方案的设计

APK单轴（Z）平台

Z-轴2G加速最高100mm行程和3轴选项15mm超薄三轴设计真空吸头力控制+/-3g(配合推荐驱动器)搭配APK-ME3驱动器和其它驱动器

APK两轴（ZT）平台

Z-轴2G加速最高100mm行程和3轴选项15mm，超薄三轴设计真空吸头力控制+/-3g(配合推荐驱动器)，搭配APK-ME3驱动器和其它驱动器

APK三轴（XZT）平台

Z-轴2G加速最高100mm行程和3轴选15mm超薄三轴设计真空吸头力控制 +/- 3g(配合推荐驱动器)，搭配APK-ME3驱动器和其它驱动器

PGS-XY 系列

PGS-XY特点：堆叠XY平台；高速，高加速；高精度，高刚性；无齿槽力

碳纤维线圈电机

直线电机动子采用炭纤维材料，质量更轻，高刚性，适用于高加速度工况，加速度可达30G甚至更高

水冷动磁铁直线电机

直线电机动子采用特殊水冷设计，连续运行24小时，全表面温升小于1度，磁轨运动，高功率密度

5轴平台用于3D测量

5轴全直驱，其中XYZ三轴为直线电机，A/C轴为直驱力矩电机XYZ行程=360mm*360mm*200mm, A/C 360度旋转角度优化的结构设计，高刚性XYZ气冷设计，控制温升，重复定位精度可达±0.75um XYZ轴最大速度1m/s,最大加速度3-4g Z轴采用电磁弹簧设计，安全性高

XYZ微型显微镜平台

XY轴为直线电机，集成高精度光栅尺，重复定位精度±0.75um Z轴采用高精度私服电机+丝杆结构，光栅尺反馈，重复定位精度±0.5um

XYZ医药应用平台

XY轴龙门双驱结构，底部两个直线电机同步控制，XY集成高精度光栅尺，重复定位精度±1um Z轴采用高精度私服电机+丝杆结构，光栅尺反馈，重复定位精度±1um

XYZ点胶注射平台

XY轴单边龙门结构，仅一侧由直线电机驱动XY集成高精度光栅尺，重复定位精度±2um Z轴采用高精度私服电机+丝杆结构，光栅尺反馈，重复定位精度±1um

XYZ用于电子组装平台

XY轴单边龙门结构，仅一侧由直线电机驱动XY集成高精度光栅尺，重复定位精度±2um Z轴直线电机，内置高精度光栅尺，行程可达50mm

XYZ激光应用平台

XY十字叠加结构，内置直线电机

XY集成高精度光栅尺，重复定位精度±1um XY采用风琴罩防尘设计

典型应用领域：恶劣工况XY高精定位、激光微加工/激光切割

XYZ双驱龙门平台

XY轴龙门双驱结构，底部两个直线电机同步控制，XY集成高精度光栅尺，重复定位精度±1um Z轴采用高精度私服电机+丝杆结构，光栅尺反馈，重复定位精度±1um 典型应用领域：高精度点胶机、检测平台、精密零部件组装/拾取

中空XY 晶圆检测平台

XY中空设计XY行程288mm*288mm XY十字叠加结构，内置直线电机及高精度交叉滚柱导轨XY集成高精度光栅尺，重复定位精度±0.5um，绝对定位精度2um。 典型应用领域：4/6/8寸晶圆检测

XYZ 晶圆检测平台

XY十字叠加结构，内置直线电机，步进/扫描Z轴采用特别设计，用于光学调焦，重复定位精度±1um XY集成高精度光栅尺，重复定位精度±0.5um底座为采用大理石材料，可以很好的保证下轴超高的平面度

典型应用领域：8寸/12寸晶圆检测

14轴G6.5 大理石平台

用于920mm*1500mm 液晶面板封装

6轴迷你平台用于光学调平定位

XY为超博直线电机，内置光栅尺，重复定位精度＜1um  Theta轴为直驱力矩电机，角度调整，内置光栅尺 最上端为3个Z轴音圈电机，特殊算法，内置光栅尺，可以实现上下调焦及超高精度调平

典型应用领域：电子元器件精密装配/检测、晶圆检测

XYZ光纤耦合平台

XYZ均采用直线电机及高精度交叉滚柱导轨，XYZ内置高精度绝对值光栅尺，1nm光栅分辨率，高速寻光，每轴速度≥350mm/s,加速度≥1g，让找光、寻光更快，效率更高

典型应用领域：有源/无源光模块三维耦合设备，精密零件光学检测

XY点胶平台

XY轴单边龙门结构，仅一侧由直线电机驱动XY集成高精度光栅尺，重复定位精度±2um结构设计简单，紧凑

典型应用领域：高精度点胶机、检测平台、精密零部件组装,3D打印

XY龙门双驱平台

XY轴龙门双驱结构，底部两个直线电机同步控制， XY集成高精度光栅尺，重复定位精度±1um

典型应用领域：高精度点胶机、检测平台、精密零部件组装/拾取

XYZ-3D玻璃切割平台

XY十字叠加结构，内置直线电机 Z轴采用特别设计，用于光学调焦，重复定位精度±1um XY集成高精度光栅尺，重复定位精度±0.5um，底座为采用大理石材料，可以很好的保证下轴超高的平面度和刚性

典型应用领域：用于3D玻璃激光切割

XYZ固定龙门平台

XY轴固定龙门设计，结构紧凑 XY集成高精度光栅尺，重复定位精度±0.75um  Z轴采用特别设计，用于光学调焦，可承载45Kg，重复定位精度±1um

典型应用领域：PCB曝光机、精密零件组装/检测

XY中空设计，Class100

XY十字叠加结构，内置直线电机及高精度交叉滚柱导轨 XY集成高精度光栅尺，重复定位精度±0.5um，绝对定位精度2um T轴为高精度力矩电机，轴向/径向端跳＜3um，360度旋转

典型应用领域：4/6/8寸晶圆检测/测试

龙门双驱平台

Y轴龙门双驱结构，底部两个直线电机同步控制， XY集成高精度光栅尺，重复定位精度±1um Z轴重复定位精度±1um 底座为采用大理石材料，可以很好的保证下轴超高的平面度和刚性

典型应用领域：高精度点胶机、检测/测试、精密零部件组装/拾取，激光微加工

XYZ 龙门铣双驱加工中心平台

X/Y/Z轴均为直驱电机，动梁龙门设计，行程可无限加长

典型应用领域：高精度/高速龙门铣双驱加工中心

XYZ 激光打标平台

XY轴固定龙门结构 XY集成高精度光栅尺，重复定位精度±1um Z轴重复定位精度±1um 底座为采用大理石材料，可以很好的保证下轴超高的平面度和刚性

典型应用领域：高精度点胶机、检测/测试、精密零部件组装/拾取，激光微加工/打标

XYZ 手机零件组装平台

XYZ堆叠结构，结构紧凑XYZ三轴内置直线电机XYZ集成高精度光栅尺，重复定位精度±1um

典型应用领域：手机/电脑精密零件组装/点胶/检测等

XYZ 平台用于晶圆测量

XY十字叠加结构，内置直线电机，步进/扫描 Z轴采用高精度音圈电机，用于光学调焦，重复定位精度±0.2um XY集成高精度光栅尺，重复定位精度±0.5um

典型应用领域：6/8寸/12寸晶圆检测